N2 Wafer-Purge-Box

KVA Kunststoff Verfahrenstechnik und Anlagenbau

 

Die Purge Box dient zur Lagerung von prozessierten Wafern.

Nach der Beladung wird der Boden des Smif Pod abgesenkt und der Innenraum wird mit N2 8.0 begast.

Durch die Begasung mit N2 wird, der in der Restluft eingeschlossene Sauerstauf (O2), verdrängt.

Auf diese Weise wird eine Oxidation der Wafer verhindert. (Kein "native-oxide" auf den Scheiben)